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OTF-1200X-50-PE-SL是一款小型滑動(dòng)開(kāi)啟式PECVD系統(tǒng)。此套設(shè)備配有等離子射頻電源，直徑為50mm的開(kāi)啟式管式爐（帶有真空法蘭和連接管道）及機(jī)械泵組成。該設(shè)備模型可更新為不同類型的PECVD 系統(tǒng)，且設(shè)備性價(jià)比較為理想

OTF-1200X-50S-PE是一款小型等離子體氣相沉積管式爐系統(tǒng)（PECVD）。該設(shè)備配有等離子射頻電源，開(kāi)啟式管式爐（帶有真空法蘭和連接管道）及一個(gè)直聯(lián)式雙旋機(jī)械泵。此套設(shè)備模型可組合為不同類型的PECVD系統(tǒng)，且設(shè)備性價(jià)較為理想。

為使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行，常利用等離子體的活性來(lái)促進(jìn)反應(yīng)，這種方法稱為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法(PECVD)。加熱爐設(shè)備的內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層，可提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可延長(zhǎng)設(shè)備的使用壽命。

OTF-1200X-80-I-4CV-CMPE-SL是傳統(tǒng)PECVD與開(kāi)發(fā)的智能通訊模塊組合，可對(duì)傳統(tǒng)PECVD實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化升級(jí)可自由搭配各種系統(tǒng)控制組合自定義CVD系統(tǒng)。是一款滑動(dòng)式雙溫區(qū)PECVD 管式爐系統(tǒng)。該系統(tǒng)包含等離子射頻電源，100mm OD1800mm L的滑動(dòng)式雙溫區(qū)管式爐，4通道質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)和機(jī)械泵機(jī)組，可用于生長(zhǎng)納米或石墨烯材料。

PECVD-8-16是一款平行板電容式PECVD系統(tǒng)，適用于中小式生產(chǎn)和實(shí)驗(yàn)，可放置12片6英寸基片。此系統(tǒng)組成：8英寸石英管管式爐，最高溫度為1100℃，一個(gè)批量型石墨舟（可放12片基片），1000W射頻電源，和一個(gè)4通道混氣系統(tǒng)。此設(shè)備特別適用于太陽(yáng)能電池和二維材料，擴(kuò)產(chǎn)前測(cè)試實(shí)驗(yàn)。

為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行，利用了等離子體的活性來(lái)促進(jìn)反應(yīng)，因而這種CVD稱為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法（PECVD），內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命。