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產(chǎn)品型號：PM100-SE廠商性質(zhì)：代理商更新時間：2026-05-12訪 問 量：3551產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
詳細(xì)介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工 |
|---|---|---|---|
| 快速測量 | 最大典型12寸晶圓（即直徑300mm) | 膜厚測量范圍 | 15nm-75μm (對Si上的SiO2樣品) |
| 膜層數(shù)目 | 1-4層 | 膜厚測量重復(fù)性 | 0.1nm(對Si上100nm的SiO2樣品) |
| 準(zhǔn)確度 | 2nm或0.4%（對Si上的SiO2樣品） |
膜厚檢測儀
產(chǎn)品介紹
快速測量，僅需1-2s即可完成一次測量
大范圍膜厚測量，可測量膜厚范圍從15nm-70μm
常規(guī)操作只需點擊一個按鈕即可運行，操作簡便
適用于工業(yè)現(xiàn)場，穩(wěn)定可靠
能夠滿足膜厚的常規(guī)測量，經(jīng)濟實用
產(chǎn)品參數(shù)
快速測量：最大典型12寸晶圓（即直徑300mm)
膜厚測量范圍：15nm-75μm (對Si上的SiO2樣品)
膜層數(shù)目：1-4層
膜厚測量重復(fù)性：0.1nm(對Si上100nm的SiO2樣品)
準(zhǔn)確度：2nm或0.4%（對Si上的SiO2樣品）
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