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產(chǎn)品型號：廠商性質(zhì)：代理商更新時間：2026-05-12訪 問 量：4159產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
詳細(xì)介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池 |
|---|---|---|---|
| 設(shè)備配置 | 1套浸泡單元、1套剝離單元 | 浸泡模塊處理晶圓數(shù)量 | 25片 |
| 剝離單元主軸旋轉(zhuǎn)速度范圍 | 20-3000rpm | 加速度范圍 | 20-5000rpm/s |
| 剝離噴嘴類型 | 高壓或扇形噴嘴 | 設(shè)備尺寸 | 1500mm(W)x1200mm(D)x1800mm(H) |
全自動/軌道式去膠剝離機(jī)
產(chǎn)品介紹
適用于8英寸及以下規(guī)格晶圓的去膠剝離工藝(Liftoff工藝)
不銹鋼柜體,觸摸式人機(jī)交互界面
耐腐蝕透明觀察窗,配置專業(yè)排風(fēng)及排廢系統(tǒng)
8寸以下化合物(鉭酸鋰等)全自動去膠剝離工藝處理
適合聲表濾波器(SAW)行業(yè)產(chǎn)能要求適中的批量產(chǎn)線
可選配MES協(xié)議轉(zhuǎn)換模塊
產(chǎn)品參數(shù)
white:
設(shè)備配置:1套浸泡單元、1套剝離單元
浸泡模塊處理晶圓數(shù)量:25片
剝離單元主軸旋轉(zhuǎn)速度范圍:20-3000rpm
加速度范圍：20-5000rpm/s
剝離噴嘴類型:高壓或扇形噴嘴
設(shè)備尺寸:1500mm(W)x1200mm(D)x1800mm(H)
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