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VTC-1RF是一款小型臺(tái)式單靶等離子濺射儀（射頻磁控型），配有1英寸的磁控等離子濺射頭和射頻（RF）等離子電源，此款設(shè)備主要用于制作非導(dǎo)電薄膜，特別是一些氧化物薄膜。對(duì)于新型非導(dǎo)電薄膜的探索，它是一款廉價(jià)并且高效的實(shí)驗(yàn)幫手。
OTF-1200X-RTP-II是一款快速蒸發(fā)管式爐，專門針對(duì)于用PVD或CSS法來制作薄膜。此款管式爐爐管直徑為11“ OD，爐管內(nèi)載樣盤可放置3“ 的圓形或2“x2“的方形基片。加熱元件為兩組紅外燈管，分別安裝在腔體的頂端和底部，其升溫速率高達(dá)20?C/S 。溫控系統(tǒng)為PID30段程序化控制，控溫精度為+/-1?C。儀器面板上帶有RS485接口，若儀表內(nèi)配有控溫軟件，就可將升溫程序和曲線導(dǎo)出
GSL-1800X-ZF4是一款高真空的蒸發(fā)鍍膜儀，特別適合蒸鍍一些對(duì)氧較敏感的金屬膜，如Ti, Al 和Au等，也可蒸鍍各種氧化物材料。此款蒸鍍儀安裝有4個(gè)蒸鍍加熱頭.對(duì)于實(shí)驗(yàn)研究，這是一款鍍膜效果理想并且性價(jià)比較高的實(shí)驗(yàn)設(shè)備。
GSL-1100X-15E是一款小型真空鍍膜儀，特別適合蒸鍍一些輕金屬，如 Al. Mg, 和Li等。同時(shí)也可對(duì)樣品進(jìn)行鍍碳處理，Z大可處理的樣品直徑為50mm.。
VTC-16-3HD是一款緊湊型CE認(rèn)證的等離子薄膜濺射儀（直流普通型），基片Z大尺寸2英寸，加熱溫度為500度和控制面板為觸摸屏模式。它可以濺射三種類型的靶材和放置樣品的直徑是50mm . 旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，可以依次在同一樣品上涂覆三種材料，金靶，銀，銅, 它可以與真空泵，不銹鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍相連用.
MSK-AFA-III是一款帶有自動(dòng)烘干功能的小型涂覆機(jī)，通過勻速地推動(dòng)精密制膜器，已達(dá)到平滑和均勻的涂覆效果。儀器采用真空吸附來固定襯底，使得涂覆過程中襯底不會(huì)起褶，從而使得涂覆更加順暢。涂覆過后，儀器上蓋可對(duì)樣品進(jìn)行加熱烘干，Z高溫度可以達(dá)到200℃，控溫精度為+/-1°C。此款設(shè)備特別適合于固態(tài)電解質(zhì)和鋰電池極片的制備。
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