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  • OTF-1200X-50-4CLV-PE4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng)

    為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進行，利用了等離子體的活性來促進反應(yīng)，因而這種CVD稱為等離子體增強化學(xué)氣相沉積法（PECVD），內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命。

    更新日期：2026-05-13
    型號：OTF-1200X-50-4CLV-PE
    廠商性質(zhì)：代理商
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