實(shí)驗(yàn)室搭載整套半導(dǎo)體級(jí)高潔凈氣路與高精度流量控制系統(tǒng)，共設(shè)置 8 路獨(dú)立供氣通道，整套系統(tǒng)經(jīng)過專業(yè)管路優(yōu)化與壓力穩(wěn)壓設(shè)計(jì)，氣體輸送穩(wěn)定、流量調(diào)控精準(zhǔn)，可嚴(yán)格匹配各類高要求精密科研實(shí)驗(yàn)的用氣標(biāo)準(zhǔn)。平臺(tái)常備氬氣、氫氣、甲烷、乙烯、乙炔、氧氣、氮?dú)?、氦氣等多種高純實(shí)驗(yàn)氣體、氣源品質(zhì)可靠，能夠充分適配薄膜沉積、高溫材料燒結(jié)、氣相合成、不同氛圍下樣品退火等各類主流實(shí)驗(yàn)工況，全面滿足半導(dǎo)體材料、低維材料、功能薄膜等方向的實(shí)驗(yàn)用氣需求。

平臺(tái)同時(shí)配置 2 英寸、4 英寸兩種常用規(guī)格的管式爐設(shè)備，并配套集成高性能等離子源系統(tǒng)，整體硬件配置完備，設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定，具備工藝拓展與適配能力。依托這套一體化設(shè)備組合，我們可為廣大科研人員提供多元化技術(shù)服務(wù)，涵蓋高質(zhì)量二維材料生長(zhǎng)、不同氣氛環(huán)境下樣品退火處理、等離子體輔助加工等實(shí)驗(yàn)項(xiàng)目，憑借成熟的設(shè)備條件與實(shí)操經(jīng)驗(yàn)，有力支撐材料科學(xué)、凝聚態(tài)物理等領(lǐng)域的課題開展與技術(shù)研究。